MKS HPS 974 QuadMag MicroPirani Transducteur piezo à cathode froide KF40 RS-232, 10-10 à 1000 Torr. PN : 974-91020

Le 974 QuadMag offre une plage de mesure de 1x10 ^-8 à 1500 Torr et combine les technologies de capteur différentiel à cathode froide, MicroPirani™ et capteur différentiel Piezo. Le 974 a été spécialement conçu pour la mesure de pression dans un sas à vide. Il a la capacité de remplacer plusieurs dispositifs de mesure de pression sur un sas grâce à sa mesure de pression absolue de l'atmosphère à 10 ^-8 Torr et ses capacités de commutation atmosphérique. Par la suite, les équipementiers peuvent réduire les coûts grâce à une conception simplifiée du loadlock. Le 974 peut être utilisé sur des sas de charge ou toute chambre à vide nécessitant à la fois des capacités de mesure de pression absolue et de commutation atmosphérique. La série 974 QuadMag dispose d'une interface de communication numérique RS232 ou RS485 pour la configuration des paramètres du transducteur et pour fournir une mesure de pression en temps réel.

Les transducteurs 974 QuadMag ont également une sortie de pression analogique de 0,5 VDC/décade qui peut être interfacée à un équipement analogique externe pour la lecture ou le contrôle de la pression. D'autres sorties analogiques et courbes peuvent être sélectionnées via l'interface utilisateur numérique. La série 974 QuadMag possède jusqu'à trois relais mécaniques qui peuvent être utilisés pour le contrôle de processus, par exemple des vannes ou des pompes à verrouillage. Le transducteur 974 QuadMag est doté d'un module d'anode à cathode froide remplaçable par l'utilisateur qui offre une facilité d'entretien sans démontage de l'électronique du transducteur. Les clients nécessitant à la fois une alimentation et un écran peuvent utiliser le 974 QuadMag avec le contrôleur de la série PDR900 vendu sur ce site Web. Pour des spécifications complètes et des informations sur le fonctionnement, voir les téléchargements disponibles ci-dessous.